近日，位于河北雄安新區(qū)的一座納米級(jí)微振動(dòng)實(shí)驗(yàn)室正式投入運(yùn)營(yíng)。該實(shí)驗(yàn)室由國(guó)家開(kāi)發(fā)投資集團(tuán)有限公司旗下的中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院股份有限公司自主研發(fā)建設(shè)，被認(rèn)定為全球首個(gè)同類實(shí)驗(yàn)室，標(biāo)志著我國(guó)在精密裝備微振動(dòng)環(huán)境控制領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大技術(shù)突破。

實(shí)驗(yàn)室的核心裝置是一臺(tái)自主研發(fā)的微振動(dòng)模擬實(shí)驗(yàn)臺(tái)，其平面尺寸達(dá)4米×4米，臺(tái)體自重約50噸，設(shè)計(jì)承載能力高達(dá)20噸。這一規(guī)格使其成為全球尺寸最大、精度最高的同類設(shè)備，能夠滿足大型半導(dǎo)體設(shè)備整機(jī)及衛(wèi)星全尺寸載荷的高精度測(cè)試需求，填補(bǔ)了國(guó)際空白。

在技術(shù)性能方面，該實(shí)驗(yàn)臺(tái)采用了空氣彈簧主動(dòng)隔振系統(tǒng)，可高效隔離來(lái)自地基及建筑結(jié)構(gòu)的環(huán)境振動(dòng)干擾。實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)顯示，其可將環(huán)境振動(dòng)降低兩到三個(gè)VC等級(jí)，在臺(tái)面上營(yíng)造出近乎純凈的微振動(dòng)環(huán)境。同時(shí)，實(shí)驗(yàn)臺(tái)配備了高精度直線電機(jī)作動(dòng)器，能在0.5Hz至100Hz的寬頻率范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)0.001Gal至5Gal的加速度精密輸出，可模擬極其微弱的背景振動(dòng)。

實(shí)驗(yàn)臺(tái)還具備多模式振動(dòng)模擬能力，可精確生成正弦波、隨機(jī)波和掃頻波，并支持單方向獨(dú)立模擬或三方向同步模擬。這一特性使其既能進(jìn)行特定頻率成分的精細(xì)化分析，也能還原復(fù)雜真實(shí)環(huán)境下的多自由度耦合振動(dòng)場(chǎng)景。

該實(shí)驗(yàn)室的建成填補(bǔ)了我國(guó)在微振動(dòng)試驗(yàn)方法、精密設(shè)備振動(dòng)容許標(biāo)準(zhǔn)、隔振裝置評(píng)價(jià)體系及第三方試驗(yàn)服務(wù)等多個(gè)環(huán)節(jié)的技術(shù)與市場(chǎng)空白。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，實(shí)驗(yàn)室可為光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等核心設(shè)備提供標(biāo)準(zhǔn)化的微振動(dòng)環(huán)境評(píng)估，幫助廠商優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，加速國(guó)產(chǎn)設(shè)備量產(chǎn)進(jìn)程。在航天領(lǐng)域，實(shí)驗(yàn)室可模擬高分辨率遙感衛(wèi)星的微振動(dòng)環(huán)境，復(fù)現(xiàn)星上振動(dòng)源對(duì)光學(xué)載荷的影響，并為低軌互聯(lián)網(wǎng)衛(wèi)星星座的批量化研制提供地面驗(yàn)證平臺(tái)。

作為雄安新區(qū)“5+6”產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向的重要布局，該實(shí)驗(yàn)室是中國(guó)電子院在微振動(dòng)環(huán)境控制領(lǐng)域數(shù)十年科研積累的成果轉(zhuǎn)化。國(guó)家開(kāi)發(fā)投資集團(tuán)有限公司表示，將依托實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，推動(dòng)更多科創(chuàng)成果在雄安落地，助力當(dāng)?shù)嘏嘤屡d產(chǎn)業(yè)集群，發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力。